日本进口仪器
動システム DDM SHINCRON SDC
動システム MDC SHINCRON SDC
動システム TOP SHINCRON SDC
動システム HtBasic SHINCRON 個別検討
スパッタコントローラSC-8000A SHINCRON 個別検討
スパッタコントローラSYSTEM34 SHINCRON 個別検討
1．システム系
单元
PLC CJ1シリーズ OMRON CJ2シリーズ
PLC CVM1 OMRON CS1
PLC C500 OMRON CS1
PLC C1000H OMRON CS1
PLC C200シリーズ OMRON CS1
PLC M5R OMRON M5RG
PLC μ T MITSUBISHI 個別検討
システムPC FC-35D NEC FC-E29U
システムPC FC85H/E NEC FC-E29U
システムPC FC98-NX シリーズ NEC FC-E29U
システムPC FC-12HE/E16U/E18M/20XE NEC FC-E29U
システムPC FC9821Ka/Xa/FC9801B NEC 個別検討
システムPC FC-E22U NEC 2029年9⽉ FC-E29U
システムPC OPTIPLEX7010 DELL FC-E29U
システムPC AR2000 Model100 (BIS⽤) PFU
AR2000 model 430L(Win10)
システムPC OPTIPLEX5050/5090 (Brisk⽤) DELL OPTIPLEX5000
2．制御系
单元
ペンレコーダPL7921-T42 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダPS3701A-T41-DU-E66 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダPS3711A-24V-5M-2J60 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダVP-6537A/38A panasonic TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダLR4110E/μR1000/8100E Yokogawa TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダYEW3056 Yokogawa TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダTR-V1000,V500 Keyence TR-W500 or TR-W1000
3．記録系
单元
UPS M-UPS010J11(GX100) Fuji Electric M-UPS010AD1B-UC
UPS M-UPS030AD (GX100) Fuji Electric M-UPS030AD1B-UC
UPS BZ35T OMRON BZ35LT2 BIS/BES
UPS BU1006F/BU606F OMRON BU100RW
4．UPS系
单元
タッチパネル NS5-SQ10-V2 OMRON VT3-Q5TA
タッチパネル NS8-TV00-V2 OMRON VT3-V8
タッチパネル NT600 OMRON VT3-V8
タッチパネル NT612G OMRON VT3-V8
タッチパネル NT620 OMRON VT3-V8
タッチパネル 620C OMRON VT3-V8
タッチパネル NT30,30C OMRON VT3-Q5TA
タッチパネル AGP3300-T1-D24 Pro-face PFXCP4301
タッチパネル AGP3600-T1-D24 Pro-face PFXCP4601
タッチパネル TSD-AT157-M MITSUBISHI TSD-AT1521-MN BIS/BES
タッチパネル 1513-MN/1517-MN MITSUBISHI TSD-AT1521-MN BIS/BES
5．操作系
单元
光学式膜厚计 OPM-6 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计 OPM-8 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计 OPM-V1 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计投光器電源 LSE-2B SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 LSE-8 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-18 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-20 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-20A SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计PC-Z1膜厚制御⽤PC RP3715VLA-C1000/825 SHINCRON SC4SB102/WES-Rev2
光学式膜厚计PC-Z1膜厚制御⽤PC SC2BL100/RP3715VLA・SC3BL100/XP SHINCRON SC4SB102/WES-Rev2
光学式膜厚计フィルタチャンジャ FCE-2 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计フィルタチャンジャ FCE-3 SHINCRON OPM-Z1
6．光学式膜厚计
单元
⽔晶式膜厚计 XTC2/XTC INFICON XTC3S
⽔晶式膜厚计 IC5 INFICON IC6
⽔晶式膜厚计 IC6000 INFICON IC6
⽔晶式膜厚计 CRTM-9000G Ulvac IC6
7．⽔晶式膜厚计
单元
APC VCC500 INFICON PCU-2100
APC RVG040 Balzers PCU-2100
APC APC-21S SHINCRON PCU-2100
APC APC-10S SHINCRON PCU-2100
APC FPC-10J SHINCRON PCU-2100
ガスボックス GRC-40 SHINCRON SEC-E40MK3
ガスボックス GRC-11C SHINCRON SEC-E40MK3
ガスボックス CR-200 KOFLOC SEC-E40MK3
ガスボックス CR-300 KOFLOC SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-10DⅡ SHINCRON SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-20C SHINCRON SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-10J SHINCRON SEC-E40MK3
MFC電源 PAC-4K HORIBA STEC PE-14
MFC電源 PAC-6K HORIBA STEC PE-16
8．ガス導系
单元
真空计コントローラ CM31(PM31) Leybold VGC503
真空计コントローラ VGC023 INFICON VGC503
真空计コントローラ VGC403 INFICON VGC503
真空计コントローラ VGC401 INFICON VGC503
真空计コントローラ PKG020 Balzers VGC503,501
真空计コントローラ IKG010 Balzers VGC503,501
真空计コントローラ PT-9P DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PT-1DA DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PC-10A DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PC-1DAS DIAVAC VGC503,501
真空计測定⼦ PEG100-D INFICON VGC503,501
真空计測定⼦ 925C MKS 925-11010
9．真空计单元
B/A真空计コントローラ MIG821 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ MIG831 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ MIG820 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ M-831S ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ M-832HG ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ BPG402-SD INFICON M-833HG
クリスタルイオンゲージ M-330MX/N25 ANELVA M-336MX-SP/N25
10．真空计(B/A)
单元
リング・ドラム回転モータ GYS500DC1 Fuji Electric GYS500D7
リング・ドラム回転モータ PSモータFuji Electric GYG751シリーズ
リング・ドラム回転モータ ESモーター（GRK2750K） Fuji Electric 2024年8⽉ GYG751シリーズ
リング・ドラム回転モータ R88Mシリーズ OMRON R88M-G40030H
リング・ドラム回転コントローラ R88A-UA12HA OMRON R88D-GT04H
リング・ドラム回転コントローラ ACｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ MSP-2W Oriental motor BMUD120-C2
リング・ドラム回転コントローラ ｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ SS302N Oriental motor MSC-1
リング・ドラム回転コントローラ MR-J3-60B MITSUBISHI MR-J4-60B
リング・ドラム回転コントローラ MR-J3-10B MITSUBISHI MR-J4-10B
サーボモータアンプ RYS101S3-RPS-Z87 Fuji Electric 2026年9⽉ RYT101F7-VS2
サーボモータアンプ RYS101S3-RSG Fuji Electric 2026年9⽉ RYT101F7-VS2
11．回転駆動系
单元
搬送コントローラ PSモータFuji Electric GYG751シリーズ
搬送コントローラ MR-J3-40A MITSUBISHI 2026年5⽉ MR-J4-40A
搬送コントローラ FVR-E9S/FVR-E11/FRN E1/FRN E11 Fuji Electric FRN E2シリーズ
搬送コントローラ インバータ3G3EV OMRON 3G3MV
12．搬送系
单元
リニアフィーダ本体 LF-02 SINFONIA LF-02B
フィーダーコントローラC7-1VF SHINKO C10-1VF
フィーダーコントローラC8-1VF SHINKO C10-1VF
フィーダーコントローラ53035A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラ58009A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラAD-4611A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラAD-4601A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
13．給材系
单元
電⼦銃電源 JST-3F JEOL 2029年8⽉末 JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 JST-3C JEOL JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 JST-10C JEOL JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 D101 PLASMATECH D102 要⼯事
電⼦銃コントローラ BS-64061(デバイスネット) JEOL F⽤コントローラ 要⼯事
電⼦銃コントローラ D-10CS1 PLASMATECH D102 要⼯事
電⼦銃コントローラ D-10CS2 PLASMATECH D102 要⼯事
14．電⼦銃
单元
イオン源 KIS-50P SHINCRON NIS-120
イオン源 KIS-80D SHINCRON NIS-120
イオン源 RIS-120D SHINCRON NIS-120
イオン源 NIS-150D SHINCRON NIS-175
IB 純⽔器 CS-1000NS2 MK RESEARCH HRS012-W-20-MT
IB 純⽔器 CS-1000NS-5MK MK RESEARCH HRS012-W-20-MT
15．イオン源
单元
RF電源 SP-3RK SWALLOW ELECTORIC TX30-D000-10
RF電源 SP-3RKI SWALLOW ELECTORIC TX30-D000-10
RF電源 JRF-3000 JEOL TX30-D000-10
RF電源 SP-5RKI SWALLOW ELECTORIC RFK50ZH-SK1
RF電源 JRF-6000 JEOL 個別検討
RF電源 RF-12040 JEOL 個別検討
RF電源 RFK50ZD KYOSAN 個別検討
RF電源 AX-300 ADTEC AX-300Ⅲ-B
マッチングコントローラ AMC-3 KYOSAN 個別検討
マッチングコントローラ RF-MN6000 JEOL 個別検討
マッチングコントローラ MAK5A-SK8 KYOSAN 個別検討
DC電源 MDX-10K AE PNCL 10K 208 AFP DE UHF
DC電源 MDX-5K AE PNCL 6K 208 AFP DE UHF
16．電源系 (RF・DC)
单元
冷凍機 PFC1102HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC1100HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC672 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC670HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC660 Polycold
Coolteq 220K
冷凍機 P/P660HC Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 P/P670HC Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 PP550 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC550 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC550HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 P500 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 P600-2 Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 PCT650 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 FRE-800B RISSHI RU-400W/TCP
冷凍機 RU-400W MK RESEARCH RU-400W/TCP
17．冷凍機
单元
TMP TG3451 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMP TMP-3203 SHIMADZU TMP-V3304LM(F)型
TMP PT-1500 MITSUBISHI TMP-V2304M(15)
TMP PFEIFFER TC100 Pfeiffer Vacuum HiPace80
TMPパワーサプライ TD3252 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMPパワーサプライ TC1103 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMPパワーサプライ TC3200 OSAKA VACUUM TGkine3404
18．排気系 (ターボ分⼦ポンプ)
单元
クライオポンプ TMH-250 SUMITOMO CRYO-U12-SP
クライオポンプ TMH-500 SUMITOMO CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ GA22JT Aisin CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ SA-22TJ Suzuki Shokan CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ SA-22TJ-01S Suzuki Shokan CRYO-U22シリーズ
19．排気系 (クライオポンプ)
单元
排気单元 MTR215（KPT-1500A+SMB-200S） SHINCRON E2M175＋EH500
排気单元 MTR630（KPT-3000A＋SMB-600ⅡS） SHINCRON E2M275+EH1200
排気单元 MTR-2560（KP-6000WG＋SMB-2500S） SHINCRON RD2500/P450
ロータリーポンプ KPT-1500A MARUYAMA VACUUM PUMP E2M175
ロータリーポンプ KPT-3000A MARUYAMA VACUUM PUMP E2M275
ドライポンプ排気セット DP180＋EH500 EDWARDS GXS160+1750
ドライポンプ排気セット GV160＋EH1200 EDWARDS GXS160+1750
ドライポンプ排気セット GV160＋EH500A EDWARDS GXS160+1750
20．排気系 (排気单元)
動システム DDM SHINCRON SDC
動システム MDC SHINCRON SDC
動システム TOP SHINCRON SDC
動システム HtBasic SHINCRON 個別検討
スパッタコントローラSC-8000A SHINCRON 個別検討
スパッタコントローラSYSTEM34 SHINCRON 個別検討
1．システム系
单元
PLC CJ1シリーズ OMRON CJ2シリーズ
PLC CVM1 OMRON CS1
PLC C500 OMRON CS1
PLC C1000H OMRON CS1
PLC C200シリーズ OMRON CS1
PLC M5R OMRON M5RG
PLC μ T MITSUBISHI 個別検討
システムPC FC-35D NEC FC-E29U
システムPC FC85H/E NEC FC-E29U
システムPC FC98-NX シリーズ NEC FC-E29U
システムPC FC-12HE/E16U/E18M/20XE NEC FC-E29U
システムPC FC9821Ka/Xa/FC9801B NEC 個別検討
システムPC FC-E22U NEC 2029年9⽉ FC-E29U
システムPC OPTIPLEX7010 DELL FC-E29U
システムPC AR2000 Model100 (BIS⽤) PFU
AR2000 model 430L(Win10)
システムPC OPTIPLEX5050/5090 (Brisk⽤) DELL OPTIPLEX5000
2．制御系
单元
ペンレコーダPL7921-T42 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダPS3701A-T41-DU-E66 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダPS3711A-24V-5M-2J60 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダVP-6537A/38A panasonic TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダLR4110E/μR1000/8100E Yokogawa TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダYEW3056 Yokogawa TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダTR-V1000,V500 Keyence TR-W500 or TR-W1000
3．記録系
单元
UPS M-UPS010J11(GX100) Fuji Electric M-UPS010AD1B-UC
UPS M-UPS030AD (GX100) Fuji Electric M-UPS030AD1B-UC
UPS BZ35T OMRON BZ35LT2 BIS/BES
UPS BU1006F/BU606F OMRON BU100RW
4．UPS系
单元
タッチパネル NS5-SQ10-V2 OMRON VT3-Q5TA
タッチパネル NS8-TV00-V2 OMRON VT3-V8
タッチパネル NT600 OMRON VT3-V8
タッチパネル NT612G OMRON VT3-V8
タッチパネル NT620 OMRON VT3-V8
タッチパネル 620C OMRON VT3-V8
タッチパネル NT30,30C OMRON VT3-Q5TA
タッチパネル AGP3300-T1-D24 Pro-face PFXCP4301
タッチパネル AGP3600-T1-D24 Pro-face PFXCP4601
タッチパネル TSD-AT157-M MITSUBISHI TSD-AT1521-MN BIS/BES
タッチパネル 1513-MN/1517-MN MITSUBISHI TSD-AT1521-MN BIS/BES
5．操作系
单元
光学式膜厚计 OPM-6 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计 OPM-8 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计 OPM-V1 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计投光器電源 LSE-2B SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 LSE-8 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-18 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-20 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-20A SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计PC-Z1膜厚制御⽤PC RP3715VLA-C1000/825 SHINCRON SC4SB102/WES-Rev2
光学式膜厚计PC-Z1膜厚制御⽤PC SC2BL100/RP3715VLA・SC3BL100/XP SHINCRON SC4SB102/WES-Rev2
光学式膜厚计フィルタチャンジャ FCE-2 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计フィルタチャンジャ FCE-3 SHINCRON OPM-Z1
6．光学式膜厚计
单元
⽔晶式膜厚计 XTC2/XTC INFICON XTC3S
⽔晶式膜厚计 IC5 INFICON IC6
⽔晶式膜厚计 IC6000 INFICON IC6
⽔晶式膜厚计 CRTM-9000G Ulvac IC6
7．⽔晶式膜厚计
单元
APC VCC500 INFICON PCU-2100
APC RVG040 Balzers PCU-2100
APC APC-21S SHINCRON PCU-2100
APC APC-10S SHINCRON PCU-2100
APC FPC-10J SHINCRON PCU-2100
ガスボックス GRC-40 SHINCRON SEC-E40MK3
ガスボックス GRC-11C SHINCRON SEC-E40MK3
ガスボックス CR-200 KOFLOC SEC-E40MK3
ガスボックス CR-300 KOFLOC SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-10DⅡ SHINCRON SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-20C SHINCRON SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-10J SHINCRON SEC-E40MK3
MFC電源 PAC-4K HORIBA STEC PE-14
MFC電源 PAC-6K HORIBA STEC PE-16
8．ガス導系
单元
真空计コントローラ CM31(PM31) Leybold VGC503
真空计コントローラ VGC023 INFICON VGC503
真空计コントローラ VGC403 INFICON VGC503
真空计コントローラ VGC401 INFICON VGC503
真空计コントローラ PKG020 Balzers VGC503,501
真空计コントローラ IKG010 Balzers VGC503,501
真空计コントローラ PT-9P DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PT-1DA DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PC-10A DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PC-1DAS DIAVAC VGC503,501
真空计測定⼦ PEG100-D INFICON VGC503,501
真空计測定⼦ 925C MKS 925-11010
9．真空计单元
B/A真空计コントローラ MIG821 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ MIG831 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ MIG820 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ M-831S ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ M-832HG ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ BPG402-SD INFICON M-833HG
クリスタルイオンゲージ M-330MX/N25 ANELVA M-336MX-SP/N25
10．真空计(B/A)
单元
リング・ドラム回転モータ GYS500DC1 Fuji Electric GYS500D7
リング・ドラム回転モータ PSモータFuji Electric GYG751シリーズ
リング・ドラム回転モータ ESモーター（GRK2750K） Fuji Electric 2024年8⽉ GYG751シリーズ
リング・ドラム回転モータ R88Mシリーズ OMRON R88M-G40030H
リング・ドラム回転コントローラ R88A-UA12HA OMRON R88D-GT04H
リング・ドラム回転コントローラ ACｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ MSP-2W Oriental motor BMUD120-C2
リング・ドラム回転コントローラ ｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ SS302N Oriental motor MSC-1
リング・ドラム回転コントローラ MR-J3-60B MITSUBISHI MR-J4-60B
リング・ドラム回転コントローラ MR-J3-10B MITSUBISHI MR-J4-10B
サーボモータアンプ RYS101S3-RPS-Z87 Fuji Electric 2026年9⽉ RYT101F7-VS2
サーボモータアンプ RYS101S3-RSG Fuji Electric 2026年9⽉ RYT101F7-VS2
11．回転駆動系
单元
搬送コントローラ PSモータFuji Electric GYG751シリーズ
搬送コントローラ MR-J3-40A MITSUBISHI 2026年5⽉ MR-J4-40A
搬送コントローラ FVR-E9S/FVR-E11/FRN E1/FRN E11 Fuji Electric FRN E2シリーズ
搬送コントローラ インバータ3G3EV OMRON 3G3MV
12．搬送系
单元
リニアフィーダ本体 LF-02 SINFONIA LF-02B
フィーダーコントローラC7-1VF SHINKO C10-1VF
フィーダーコントローラC8-1VF SHINKO C10-1VF
フィーダーコントローラ53035A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラ58009A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラAD-4611A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラAD-4601A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
13．給材系
单元
電⼦銃電源 JST-3F JEOL 2029年8⽉末 JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 JST-3C JEOL JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 JST-10C JEOL JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 D101 PLASMATECH D102 要⼯事
電⼦銃コントローラ BS-64061(デバイスネット) JEOL F⽤コントローラ 要⼯事
電⼦銃コントローラ D-10CS1 PLASMATECH D102 要⼯事
電⼦銃コントローラ D-10CS2 PLASMATECH D102 要⼯事
14．電⼦銃
单元
イオン源 KIS-50P SHINCRON NIS-120
イオン源 KIS-80D SHINCRON NIS-120
イオン源 RIS-120D SHINCRON NIS-120
イオン源 NIS-150D SHINCRON NIS-175
IB 純⽔器 CS-1000NS2 MK RESEARCH HRS012-W-20-MT
IB 純⽔器 CS-1000NS-5MK MK RESEARCH HRS012-W-20-MT
15．イオン源
单元
RF電源 SP-3RK SWALLOW ELECTORIC TX30-D000-10
RF電源 SP-3RKI SWALLOW ELECTORIC TX30-D000-10
RF電源 JRF-3000 JEOL TX30-D000-10
RF電源 SP-5RKI SWALLOW ELECTORIC RFK50ZH-SK1
RF電源 JRF-6000 JEOL 個別検討
RF電源 RF-12040 JEOL 個別検討
RF電源 RFK50ZD KYOSAN 個別検討
RF電源 AX-300 ADTEC AX-300Ⅲ-B
マッチングコントローラ AMC-3 KYOSAN 個別検討
マッチングコントローラ RF-MN6000 JEOL 個別検討
マッチングコントローラ MAK5A-SK8 KYOSAN 個別検討
DC電源 MDX-10K AE PNCL 10K 208 AFP DE UHF
DC電源 MDX-5K AE PNCL 6K 208 AFP DE UHF
16．電源系 (RF・DC)
单元
冷凍機 PFC1102HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC1100HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC672 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC670HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC660 Polycold
Coolteq 220K
冷凍機 P/P660HC Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 P/P670HC Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 PP550 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC550 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC550HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 P500 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 P600-2 Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 PCT650 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 FRE-800B RISSHI RU-400W/TCP
冷凍機 RU-400W MK RESEARCH RU-400W/TCP
17．冷凍機
单元
TMP TG3451 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMP TMP-3203 SHIMADZU TMP-V3304LM(F)型
TMP PT-1500 MITSUBISHI TMP-V2304M(15)
TMP PFEIFFER TC100 Pfeiffer Vacuum HiPace80
TMPパワーサプライ TD3252 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMPパワーサプライ TC1103 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMPパワーサプライ TC3200 OSAKA VACUUM TGkine3404
18．排気系 (ターボ分⼦ポンプ)
单元
クライオポンプ TMH-250 SUMITOMO CRYO-U12-SP
クライオポンプ TMH-500 SUMITOMO CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ GA22JT Aisin CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ SA-22TJ Suzuki Shokan CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ SA-22TJ-01S Suzuki Shokan CRYO-U22シリーズ
19．排気系 (クライオポンプ)
单元
排気单元 MTR215（KPT-1500A+SMB-200S） SHINCRON E2M175＋EH500
排気单元 MTR630（KPT-3000A＋SMB-600ⅡS） SHINCRON E2M275+EH1200
排気单元 MTR-2560（KP-6000WG＋SMB-2500S） SHINCRON RD2500/P450
ロータリーポンプ KPT-1500A MARUYAMA VACUUM PUMP E2M175
ロータリーポンプ KPT-3000A MARUYAMA VACUUM PUMP E2M275
ドライポンプ排気セット DP180＋EH500 EDWARDS GXS160+1750
ドライポンプ排気セット GV160＋EH1200 EDWARDS GXS160+1750
ドライポンプ排気セット GV160＋EH500A EDWARDS GXS160+1750
20．排気系 (排気单元)
動システム DDM SHINCRON SDC
動システム MDC SHINCRON SDC
動システム TOP SHINCRON SDC
動システム HtBasic SHINCRON 個別検討
スパッタコントローラSC-8000A SHINCRON 個別検討
スパッタコントローラSYSTEM34 SHINCRON 個別検討
1．システム系
单元
PLC CJ1シリーズ OMRON CJ2シリーズ
PLC CVM1 OMRON CS1
PLC C500 OMRON CS1
PLC C1000H OMRON CS1
PLC C200シリーズ OMRON CS1
PLC M5R OMRON M5RG
PLC μ T MITSUBISHI 個別検討
システムPC FC-35D NEC FC-E29U
システムPC FC85H/E NEC FC-E29U
システムPC FC98-NX シリーズ NEC FC-E29U
システムPC FC-12HE/E16U/E18M/20XE NEC FC-E29U
システムPC FC9821Ka/Xa/FC9801B NEC 個別検討
システムPC FC-E22U NEC 2029年9⽉ FC-E29U
システムPC OPTIPLEX7010 DELL FC-E29U
システムPC AR2000 Model100 (BIS⽤) PFU
AR2000 model 430L(Win10)
システムPC OPTIPLEX5050/5090 (Brisk⽤) DELL OPTIPLEX5000
2．制御系
单元
ペンレコーダPL7921-T42 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダPS3701A-T41-DU-E66 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダPS3711A-24V-5M-2J60 Pro-face TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダVP-6537A/38A panasonic TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダLR4110E/μR1000/8100E Yokogawa TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダYEW3056 Yokogawa TR-W500 or TR-W1000
ペンレコーダTR-V1000,V500 Keyence TR-W500 or TR-W1000
3．記録系
单元
UPS M-UPS010J11(GX100) Fuji Electric M-UPS010AD1B-UC
UPS M-UPS030AD (GX100) Fuji Electric M-UPS030AD1B-UC
UPS BZ35T OMRON BZ35LT2 BIS/BES
UPS BU1006F/BU606F OMRON BU100RW
4．UPS系
单元
タッチパネル NS5-SQ10-V2 OMRON VT3-Q5TA
タッチパネル NS8-TV00-V2 OMRON VT3-V8
タッチパネル NT600 OMRON VT3-V8
タッチパネル NT612G OMRON VT3-V8
タッチパネル NT620 OMRON VT3-V8
タッチパネル 620C OMRON VT3-V8
タッチパネル NT30,30C OMRON VT3-Q5TA
タッチパネル AGP3300-T1-D24 Pro-face PFXCP4301
タッチパネル AGP3600-T1-D24 Pro-face PFXCP4601
タッチパネル TSD-AT157-M MITSUBISHI TSD-AT1521-MN BIS/BES
タッチパネル 1513-MN/1517-MN MITSUBISHI TSD-AT1521-MN BIS/BES
5．操作系
单元
光学式膜厚计 OPM-6 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计 OPM-8 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计 OPM-V1 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计投光器電源 LSE-2B SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 LSE-8 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-18 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-20 SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计投光器電源 PS20-20A SHINCRON PSW-360L30
光学式膜厚计PC-Z1膜厚制御⽤PC RP3715VLA-C1000/825 SHINCRON SC4SB102/WES-Rev2
光学式膜厚计PC-Z1膜厚制御⽤PC SC2BL100/RP3715VLA・SC3BL100/XP SHINCRON SC4SB102/WES-Rev2
光学式膜厚计フィルタチャンジャ FCE-2 SHINCRON OPM-Z1
光学式膜厚计フィルタチャンジャ FCE-3 SHINCRON OPM-Z1
6．光学式膜厚计
单元
⽔晶式膜厚计 XTC2/XTC INFICON XTC3S
⽔晶式膜厚计 IC5 INFICON IC6
⽔晶式膜厚计 IC6000 INFICON IC6
⽔晶式膜厚计 CRTM-9000G Ulvac IC6
7．⽔晶式膜厚计
单元
APC VCC500 INFICON PCU-2100
APC RVG040 Balzers PCU-2100
APC APC-21S SHINCRON PCU-2100
APC APC-10S SHINCRON PCU-2100
APC FPC-10J SHINCRON PCU-2100
ガスボックス GRC-40 SHINCRON SEC-E40MK3
ガスボックス GRC-11C SHINCRON SEC-E40MK3
ガスボックス CR-200 KOFLOC SEC-E40MK3
ガスボックス CR-300 KOFLOC SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-10DⅡ SHINCRON SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-20C SHINCRON SEC-E40MK3
MFCコントローラ FCS-10J SHINCRON SEC-E40MK3
MFC電源 PAC-4K HORIBA STEC PE-14
MFC電源 PAC-6K HORIBA STEC PE-16
8．ガス導系
单元
真空计コントローラ CM31(PM31) Leybold VGC503
真空计コントローラ VGC023 INFICON VGC503
真空计コントローラ VGC403 INFICON VGC503
真空计コントローラ VGC401 INFICON VGC503
真空计コントローラ PKG020 Balzers VGC503,501
真空计コントローラ IKG010 Balzers VGC503,501
真空计コントローラ PT-9P DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PT-1DA DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PC-10A DIAVAC VGC503,501
真空计コントローラ PC-1DAS DIAVAC VGC503,501
真空计測定⼦ PEG100-D INFICON VGC503,501
真空计測定⼦ 925C MKS 925-11010
9．真空计单元
B/A真空计コントローラ MIG821 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ MIG831 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ MIG820 ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ M-831S ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ M-832HG ANELVA M-833HG
B/A真空计コントローラ BPG402-SD INFICON M-833HG
クリスタルイオンゲージ M-330MX/N25 ANELVA M-336MX-SP/N25
10．真空计(B/A)
单元
リング・ドラム回転モータ GYS500DC1 Fuji Electric GYS500D7
リング・ドラム回転モータ PSモータFuji Electric GYG751シリーズ
リング・ドラム回転モータ ESモーター（GRK2750K） Fuji Electric 2024年8⽉ GYG751シリーズ
リング・ドラム回転モータ R88Mシリーズ OMRON R88M-G40030H
リング・ドラム回転コントローラ R88A-UA12HA OMRON R88D-GT04H
リング・ドラム回転コントローラ ACｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ MSP-2W Oriental motor BMUD120-C2
リング・ドラム回転コントローラ ｽﾋﾟｰﾄﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ SS302N Oriental motor MSC-1
リング・ドラム回転コントローラ MR-J3-60B MITSUBISHI MR-J4-60B
リング・ドラム回転コントローラ MR-J3-10B MITSUBISHI MR-J4-10B
サーボモータアンプ RYS101S3-RPS-Z87 Fuji Electric 2026年9⽉ RYT101F7-VS2
サーボモータアンプ RYS101S3-RSG Fuji Electric 2026年9⽉ RYT101F7-VS2
11．回転駆動系
单元
搬送コントローラ PSモータFuji Electric GYG751シリーズ
搬送コントローラ MR-J3-40A MITSUBISHI 2026年5⽉ MR-J4-40A
搬送コントローラ FVR-E9S/FVR-E11/FRN E1/FRN E11 Fuji Electric FRN E2シリーズ
搬送コントローラ インバータ3G3EV OMRON 3G3MV
12．搬送系
单元
リニアフィーダ本体 LF-02 SINFONIA LF-02B
フィーダーコントローラC7-1VF SHINKO C10-1VF
フィーダーコントローラC8-1VF SHINKO C10-1VF
フィーダーコントローラ53035A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラ58009A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラAD-4611A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
フィーダーコントローラAD-4601A CERATEC Engnieering 53035A-Ⅲ
13．給材系
单元
電⼦銃電源 JST-3F JEOL 2029年8⽉末 JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 JST-3C JEOL JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 JST-10C JEOL JST-10F 要⼯事
電⼦銃電源 D101 PLASMATECH D102 要⼯事
電⼦銃コントローラ BS-64061(デバイスネット) JEOL F⽤コントローラ 要⼯事
電⼦銃コントローラ D-10CS1 PLASMATECH D102 要⼯事
電⼦銃コントローラ D-10CS2 PLASMATECH D102 要⼯事
14．電⼦銃
单元
イオン源 KIS-50P SHINCRON NIS-120
イオン源 KIS-80D SHINCRON NIS-120
イオン源 RIS-120D SHINCRON NIS-120
イオン源 NIS-150D SHINCRON NIS-175
IB 純⽔器 CS-1000NS2 MK RESEARCH HRS012-W-20-MT
IB 純⽔器 CS-1000NS-5MK MK RESEARCH HRS012-W-20-MT
15．イオン源
单元
RF電源 SP-3RK SWALLOW ELECTORIC TX30-D000-10
RF電源 SP-3RKI SWALLOW ELECTORIC TX30-D000-10
RF電源 JRF-3000 JEOL TX30-D000-10
RF電源 SP-5RKI SWALLOW ELECTORIC RFK50ZH-SK1
RF電源 JRF-6000 JEOL 個別検討
RF電源 RF-12040 JEOL 個別検討
RF電源 RFK50ZD KYOSAN 個別検討
RF電源 AX-300 ADTEC AX-300Ⅲ-B
マッチングコントローラ AMC-3 KYOSAN 個別検討
マッチングコントローラ RF-MN6000 JEOL 個別検討
マッチングコントローラ MAK5A-SK8 KYOSAN 個別検討
DC電源 MDX-10K AE PNCL 10K 208 AFP DE UHF
DC電源 MDX-5K AE PNCL 6K 208 AFP DE UHF
16．電源系 (RF・DC)
单元
冷凍機 PFC1102HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC1100HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC672 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC670HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC660 Polycold
Coolteq 220K
冷凍機 P/P660HC Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 P/P670HC Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 PP550 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC550 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 PFC550HC Polycold Coolteq 220K
冷凍機 P500 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 P600-2 Polycold Coolteq 220KD
冷凍機 PCT650 Polycold Coolteq 220K
冷凍機 FRE-800B RISSHI RU-400W/TCP
冷凍機 RU-400W MK RESEARCH RU-400W/TCP
17．冷凍機
单元
TMP TG3451 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMP TMP-3203 SHIMADZU TMP-V3304LM(F)型
TMP PT-1500 MITSUBISHI TMP-V2304M(15)
TMP PFEIFFER TC100 Pfeiffer Vacuum HiPace80
TMPパワーサプライ TD3252 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMPパワーサプライ TC1103 OSAKA VACUUM TGkine3404
TMPパワーサプライ TC3200 OSAKA VACUUM TGkine3404
18．排気系 (ターボ分⼦ポンプ)
单元
クライオポンプ TMH-250 SUMITOMO CRYO-U12-SP
クライオポンプ TMH-500 SUMITOMO CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ GA22JT Aisin CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ SA-22TJ Suzuki Shokan CRYO-U22シリーズ
クライオポンプ SA-22TJ-01S Suzuki Shokan CRYO-U22シリーズ
19．排気系 (クライオポンプ)
单元
排気单元 MTR215（KPT-1500A+SMB-200S） SHINCRON E2M175＋EH500
排気单元 MTR630（KPT-3000A＋SMB-600ⅡS） SHINCRON E2M275+EH1200
排気单元 MTR-2560（KP-6000WG＋SMB-2500S） SHINCRON RD2500/P450
ロータリーポンプ KPT-1500A MARUYAMA VACUUM PUMP E2M175
ロータリーポンプ KPT-3000A MARUYAMA VACUUM PUMP E2M275
ドライポンプ排気セット DP180＋EH500 EDWARDS GXS160+1750
ドライポンプ排気セット GV160＋EH1200 EDWARDS GXS160+1750
ドライポンプ排気セット GV160＋EH500A EDWARDS GXS160+1750
20．排気系 (排気单元)